| |розроблених | | | | | | |створення джерел |науки | | | | | | | |
| |методів | | | | | | |випромінювання | | | | | | | | |
| | | | | | | | |надвисокої частоти у|-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |терагерцовому |Національна| | 1,5 | 0,35 | 0,35 | 0,35 | 0,25 | 0,2 |
| | | | | | | | |діапазоні на основі |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |напівпровідникових |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | | 3 5 | | | | | | | | |
| | | | | | | | |структур А В з | | | | | | | | |
| | | | | | | | |наноструктурними | | | | | | | | |
| | | | | | | | |буферними шарами і | | | | | | | | |
| | | | | | | | |структурованими | | | | | | | | |
| | | | | | | | |дифузійними | | | | | | | | |
| | | | | | | | |бар'єрами | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 3 | 0,7 | 0,7 | 0,7 | 0,5 | 0,4 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | -"- | 3 | 1 | 1 | 1 | | | методів |Держінформ-| | 1,5 | 0,35 | 0,35 | 0,35 | 0,25 | 0,2 |
| | | | | | | | |ефективного |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |нанолітографічного, |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |в тому числі |Національна| | 1,5 | 0,35 | 0,35 | 0,35 | 0,25 | 0,2 |
| | | | | | | | |інтерференційного, |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |створення |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |наноструктур | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 3 | 0,7 | 0,7 | 0,7 | 0,5 | 0,4 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |кількість | 3 | | 1 | 1 | 1 | | високоефективних |Держінформ-| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| |розроблених | | | | | | |низькотемпературних |науки | | | | | | | |
| |нанотехнологій| | | | | | |плазмових |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |нанотехнологій |Національна| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |створення |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |наноструктурованих |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |шарів карбіду | | | | | | | | |
| | | | | | | | |кремнію для захисту | | | | | | | | |
| | | | | | | | |поверхні | | | | | | | | |
| | | | | | | | |високовольтних | | | | | | | | |
| | | | | | | | |діодів типу 4HSiC | | | | | | | | |
| | | | | | | | |НВЧ pin | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 3 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | -"- | 2 | | | | 1 | 1 | нанотехнологій |Держінформ-| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |створення |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |наноструктур методом|-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |сканувальної |Національна| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |зондової мікроскопії|академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |з електропровідним |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |алмазним вістрям | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 3 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | -"- | 5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | нанотехнологій |Держінформ-| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |виготовлення та |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |дослідження | | | | | | | | |
| | | | | | | | |властивостей | | | | | | | | |
| | | | | | | | |нанопорошків ітрій- |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |алюмінієвих гранатів|Національна| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |та перовскитів, |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |активованих |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |рідкісноземельними | | | | | | | | |
| | | | | | | | |та перехідними | | | | | | | | |
| | | | | | | | |іонами, та створення| | | | | | | | |
| | | | | | | | |на їх основі | | | | | | | | |
| | | | | | | | |нанокерамічних | | | | | | | | |
| | | | | | | | |матеріалів для | | | | | | | | |
| | | | | | | | |пристроїв | | | | | | | | |
| | | | | | | | |оптоелектроніки | | | | | | | | |
| | | | | | | | |нового покоління | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 3 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | -"- | 3 | | | 1 | 1 | 1 | нанотехнологій |Держінформ-| | 1,75 | 0,35 | 0,35 | 0,35 | 0,35 | 0,35 |
| | | | | | | | |компонентів |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |наноелектронних |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |приладів на основі |Національна| | 1,75 | 0,35 | 0,35 | 0,35 | 0,35 | 0,35 |
| | | | | | | | |групи тринітридів |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | | |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 3,5 | 0,7 | 0,7 | 0,7 | 0,7 | 0,7 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | -"- | 2 | | | | 1 | 1 | нанотехнологій |Держінформ-| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |створення |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |епітаксійних |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |структур для діодів |Національна| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |Гана на основі |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | | 3 5 |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |сполук А В із | | | | | | | | |
| | | | | | | | |застосуванням | | | | | | | | |
| | | | | | | | |глибокої очистки | | | | | | | | |
| | | | | | | | |джерела методом | | | | | | | | |
| | | | | | | | |парофазної епітаксії| | | | | | | | |
| | | | | | | | | | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 3 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | -"- | 3 | | | 1 | 1 | 1 | нанотехнологій |Держінформ-| | 2 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 |
| | | | | | | | |виготовлення |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |наноструктурованих | | | | | | | | |
| | | | | | | | |кремній- |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |карбонізованих |Національна| | 2 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 |
| | | | | | | | |матеріалів та |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |розроблення на їх |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |основі | | | | | | | | |
| | | | | | | | |світловипромінюючих | | | | | | | | |
| | | | | | | | |елементів у широкому| | | | | | | | |
| | | | | | | | |діапазоні довжини | | | | | | | | |
| | | | | | | | |хвиль | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 4 | 0,8 | 0,8 | 0,8 | 0,8 | 0,8 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |кількість | 8 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | програмних |Держінформ-| | 1,35 | 0,2 | 0,25 | 0,275 | 0,3 | 0,325 |
| |розроблених | | | | | | |продуктів нового |науки | | | | | | | |
| |програмних | | | | | | |покоління для |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |продуктів | | | | | | |використання під час|Національна| | 1,35 | 0,2 | 0,25 | 0,275 | 0,3 | 0,325 |
| | | | | | | | |технологічних |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |процесів |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 2,7 | 0,4 | 0,5 | 0,55 | 0,6 | 0,65 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |кількість | 10 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | нанотехнологій |Держінформ-| | 2 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 |
| |розроблених | | | | | | |об'ємних |науки | | | | | | | |
| |нанотехнологій| | | | | | |нанокристалічних |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |матеріалів для |Національна| | 2 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 |
| | | | | | | | |кріогенної і |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |аерокосмічної |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |техніки, машино- і |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |авіабудування та | | | | | | | | |
| | | | | | | | |впровадження їх у | | | | | | | | |
| | | | | | | | |дослідне виробництво| | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 4 | 0,8 | 0,8 | 0,8 | 0,8 | 0,8 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | -"- | 2 | | | 1 | 1 | | економічних |Держінформ-| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |нанотехнологій |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |формування |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |багатошарових |Національна| | 1,5 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |резонансно-тунельних|академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |структур |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |"діелектрик - | | | | | | | | |
| | | | | | | | |нанокластер - | | | | | | | | |
| | | | | | | | |"діелектрик" з | | | | | | | | |
| | | | | | | | |урахуванням принципу| | | | | | | | |
| | | | | | | | |керованої | | | | | | | | |
| | | | | | | | |самоорганізації | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 3 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,6 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | -"- | 1 | | | | 1 | | нітридних сполук |Держінформ-| | 1,2 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,2 | 0,1 |
| | | | | | | | |елементів третьої |науки
| | | | | | | | |групи з |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |використанням |Національна| | 1,2 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,2 | 0,1 |
| | | | | | | | |технології радикало-|академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |променевої епітаксії|наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 2,4 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,4 | 0,2 |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |кількість | 5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |3) виготовлення | |державний| | | | | | |
| |розроблених | | | | | | |функціональних | |бюджет | | | | | | |
| |методів | | | | | | |біонаноматеріалів |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |для адаптивних |Держінформ-| | 1,2 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,2 | 0,1 |
| | | | | | | | |сенсорних систем та |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |їх використання під | | | | | | | | |
| | | | | | | | |час проведення |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |моніторингу |Національна| | 1,2 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,2 | 0,1 |
| | | | | | | | |високотехнологічних |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |процесів у |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |біотехнології, | | | | | | | | |
| | | | | | | | |медицині та | | | | | | | | |
| | | | | | | | |навколишньому | | | | | | | | |
| | | | | | | | |природному | | | | | | | | |
| | | | | | | | |середовищі | | | | | | | | |
| | | | | | | | |--------------------+-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | | | 2,4 | 0,6 | 0,6 | 0,6 | 0,4 | 0,2 |
|-----------------------------------------------------------------------------------+-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
|Разом за завданням 2 | | -"- | 55,2 | 11,7 | 12 | 12,05 | 10,3 | 9,15 |
|-----------------------------------------------------------------------------------+-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
|у тому числі |Держінформ-| | 27,6 | 5,85 | 6 | 6,025 | 5,15 | 4,575 |
| |науки | | | | | | | |
| |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |Національна| | 27,6 | 5,85 | 6 | 6,025 | 5,15 | 4,575 |
| |академія | | | | | | | |
| |наук | | | | | | | |
|-----------------------------------------------------------------------------------+-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
|3. Створення та |кількість | | | | | | |1) розроблення: | | | | | | | | |
|впровадження у |розроблених | | | | | | | | | | | | | | | |
|виробництво |нанотехнологій| | | | | | | | | | | | | | | |
|новітньої | |-----+----+----+----+----+----+--------------------+-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
|елементної бази | | 13 | 1 | 1 | 3 | 5 | 3 | нанотехнологій |Держінформ-|державний| 7 | 0,55 | 1,25 | 1,7 | 1,8 | 1,7 |
|приладів для | | | | | | | |виготовлення систем |науки |бюджет | | | | | | |
|терагерцового | | | | | | | |і обладнання для |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
|діапазону | | | | | | | |діапазону частот |Національна|державний| 7 | 0,55 | 1,25 | 1,7 | 1,8 | 1,7 |
|шляхом | | | | | | | |200-600 ГГц та |академія |бюджет | | | | | | |
|створення | | | | | | | |впровадження їх у |наук |---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
|наноструктур | | | | | | | |виробництво | |інші | 4 | | 0,6 | 1 | 1,2 | 1,2 |
|на основі | | | | | | | | | |джерела | | | | | | |
|традиційних | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
|напівпровід- | | | | | | | |Разом | 18 | 1,1 | 3,1 | 4,4 | 4,8 | 4,6 |
|ників та | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
|наноматеріалів | | | | | | | |у тому числі |державний| 14 | 1,1 | 2,5 | 3,4 | 3,6 | 3,4 |
| | | | | | | | | |бюджет | | | | | | |
| | | | | | | | | |---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | | |інші | 4 | | 0,6 | 1 | 1,2 | 1,2 |
| | | | | | | | | |джерела | | | | | | |
| | |-----+----+----+----+----+----+--------------------------------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | 2 | | | 1 | 1 | | нанотехнологій |Держінформ-|державний| 2 | 0,2 | 0,45 | 0,45 | 0,45 | 0,45 |
| | | | | | | | |виготовлення |науки |бюджет | | | | | | |
| | | | | | | | |потужних джерел |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |випромінювання у |Національна|державний| 2 | 0,2 | 0,45 | 0,45 | 0,45 | 0,45 |
| | | | | | | | |терагерцевому |академія |бюджет | | | | | | |
| | | | | | | | |діапазоні на основі |наук |---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |міждолинного | |інші | 1 | | 0,1 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | |переносу носіїв | |джерела | | | | | | |
| | | | | | | | |заряду в | | | | | | | | |
| | | | | | | | |багатошарових | | | | | | | | |
| | | | | | | | |наноструктурах на | | | | | | | | |
| | | | | | | | |основі тринітридів | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 5 | 0,4 | 1 | 1,2 | 1,2 | 1,2 |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |у тому числі |державний| 4 | 0,4 | 0,9 | 0,9 | 0,9 | 0,9 |
| | | | | | | | | |бюджет | | | | | | |
| | | | | | | | | |---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | | |інші | 1 | | 0,1 | 0,3 | 0,3 | 0,3 |
| | | | | | | | | |джерела | | | | | | |
| | |-----+----+----+----+----+----+--------------------------------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | 4 | | | 1 | 2 | 1 | мембранних | |державний| | | | | | |
| | | | | | | | |нанотехнологій | |бюджет | | | | | | |
| | | | | | | | |створення елементної|-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |бази джерел |Держінформ-| | 2 | 0,2 | 0,45 | 0,45 | 0,45 | 0,45 |
| | | | | | | | |випромінювання у |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |терагерцовому |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |діапазоні частот як |Національна| | 2 | 0,2 | 0,45 | 0,45 | 0,45 | 0,45 |
| | | | | | | | |елементів |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |інтегральних схем на|наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |основі високоомних | | | | | | | | |
| | | | | | | | |наноструктурованих | | | | | | | | |
| | | | | | | | |шарів карбіду | | | | | | | | |
| | | | | | | | |кремнію | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 4 | 0,4 | 0,9 | 0,9 | 0,9 | 0,9 |
| | |-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | 1 | | | 1 | | | широкодіапазонного| |державний| | | | | | |
| | | | | | | | |рефлектометра для | |бюджет | | | | | | |
| | | | | | | | |вимірювання | | | | | | | | |
| | | | | | | | |параметрів |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |наноструктурних |Держінформ-| | 1,3 | 0,45 | 0,45 | 0,4 | | |
| | | | | | | | |діелектричних |науки | | | | | | | |
| | | | | | | | |матеріалів і | | | | | | | | |
| | | | | | | | |біологічних |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |середовищ у |Національна| | 1,3 | 0,45 | 0,45 | 0,4 | | |
| | | | | | | | |терагерцовому |академія | | | | | | | |
| | | | | | | | |діапазоні із |наук | | | | | | | |
| | | | | | | | |застосуванням лампи | | | | | | | | |
| | | | | | | | |зворотної хвилі і | | | | | | | | |
| | | | | | | | |низькобар'єрних | | | | | | | | |
| | | | | | | | |напівпровідникових | | | | | | | | |
| | | | | | | | |структур | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 2,6 | 0,9 | 0,9 | 0,8 | | |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |2) розроблення та | | | | | | | | |
| | | | | | | | |впровадження: | | | | | | | | |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+--------------------+-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |кількість | 5 | | 1 | 1 | 1 | 2 | нанотехнологій |Держінформ-|державний| 2 | 0,2 | 0,45 | 0,45 | 0,45 | 0,45 |
| |розроблених | | | | | | |виготовлення |науки |бюджет | | | | | | |
| |типономіналів | | | | | | |високоефективних |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |активних | | | | | | |фосфід-індієвих |Національна|державний| 2 | 0,2 | 0,45 | 0,45 | 0,45 | 0,45 |
| |елементів і | | | | | | |діодів Гана для |академія |бюджет | | | | | | |
| |функціональних| | | | | | |терагерцового |наук | | | | | | | |
| |модулів | | | | | | |діапазону на основі | |---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |терагерцового | | | | | | |епітаксійних | |інші | 2 | 0,3 | 0,4 | 0,6 | 0,4 | 0,3 |
| |діапазону | | | | | | |структур з | |джерела | | | | | | |
| | | | | | | | |вбудованими | | | | | | | | |
| | | | | | | | |буферними | | | | | | | | |
| | | | | | | | |"еластичними" | | | | | | | | |
| | | | | | | | |нанопористими шарами| | | | | | | | |
| | | | | | | | |і катодними | | | | | | | | |
| | | | | | | | |контактами, які | | | | | | | | |
| | | | | | | | |випромінюють | | | | | | | | |
| | | | | | | | |"гарячі" електрони | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |Разом | 6 | 0,7 | 1,3 | 1,5 | 1,3 | 1,2 |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | |у тому числі |державний| 4 | 0,4 | 0,9 | 0,9 | 0,9 | 0,9 |
| | | | | | | | | |бюджет | | | | | | |
| | | | | | | | | |---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| | | | | | | | | |інші | 2 | 0,3 | 0,4 | 0,6 | 0,4 | 0,3 |
| | | | | | | | | |джерела | | | | | | |
| |--------------+-----+----+----+----+----+----+--------------------------------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |кількість | 7 | 1 | 1 | 1 | 1 | 3 | нанотехнологій |Держінформ-|державний| 2,5 | 0,1 | 0,5 | 0,5 | 0,7 | 0,7 |
| |розроблених | | | | | | |виготовлення |науки |бюджет | | | | | | |
| |типономіналів | | | | | | |потужних |-----------+---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |активних | | | | | | |транзисторів |Національна|державний| 2,5 | 0,1 | 0,1 | 0,5 | 0,7 | 0,7 |
| |елементів | | | | | | |надвисоких частот |академія |бюджет | | | | | | |
| |терагерцового | | | | | | |(4-10 ГГц) з |наук |---------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|
| |діапазону | | | | | | |використанням | |інші | 3 | | 0,5 | 0,5 | 1 | 1 |
| | | | | | | | |наноструктурованих | |джерела | | | | | | |
| | | | | | | | |епітаксійних шарів | | | | | | | | |
| | | | | | | | |нітриду галію та | | | | | | | | |
| | | | | | | | |твердих розчинів на | | | | | | | | |
| | | | | | | | |його основі | | | | | | | | |
| | | | | | | | |------------------------------------------+--------+-------+-------+-------+-------+-------|